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 安装排风系统及净化系统

考虑电镀废气的治理，可以通过安装排风系统，将被污染的废气输送到气体净化系统，以达到将有毒有害气体去除的目的。由此可见，安装排风系统和净化系统，是一个统一的整体。

安装排风系统

根据电镀废气排放特点，工厂车间生产条件限制，有害废气排放方式，采用不同的排风系统。如在车间中，一般是因为嗷源不固定，排放点多等因素，采用局部排风方式。将这些局部排风方式的气体进行监测，如果达到排放标准，可以直接排放至大气中，如果高于排放标准，则需要将废气通入净化系统，在有害废弃排放的点，直接将废气收集，经过通风系统排放到室外。为了保证车间空气压力平衡，还需要进行机械通风，保持室内空气质量符合标准。

真空蒸镀的关键参数

饱和蒸气压(PV): 在一定的温度下,真空室中蒸发材料的蒸气在与固体或液体平衡过程中所表现的压力.饱和蒸气压与温度的关系曲线对于薄膜制作技术有重要意义，它可以帮助我们合理选择蒸发材料和确定蒸发条件。

真空度：P ≤ 10-3 Pa（保证蒸发，粒子具分子流特征，以直线运动）

基片距离 (相对于蒸发源)：10~50 cm（兼顾沉积均匀性和气相粒子平均自由程）蒸发出的原子是自由、无碰撞的， 沉积速度快。容易根据蒸发原料的质量、蒸发时间、衬底与蒸发源的距离、衬底的倾角、材料的密度等计算薄膜的厚度。